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| 項目名稱 | 高效鍍膜設備用靶槍和電源 | 項目編號 | XF-WSBX-****** |
|---|---|---|---|
| 公示開始日期 | 2025-06-25 11:43:07 | 公示截止日期 | 2025-07-02 13:00:00 |
| 采購單位 | ******大學 | 付款方式 | 貨到付款，甲方在到貨驗收后15日內向乙方一次性支付本項目的總額 |
| 聯系人 | 中標后在我參與的項目中查看 | 聯系電話 | 中標后在我參與的項目中查看 |
| 簽約時間要求 | 成交后90個工作日內 | 到貨時間要求 | 成交后90個工作日內 |
| 預算 | ￥?460,000 | ||
| 供應商資質要求 |
符合《政府采購法》第二十二條規定的供應商基本條件
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| 收貨地址 | 玉泉校區微電子樓超凈實驗室108 | ||
采購清單1
| 采購物品 | 是否允許進口 | 采購數量 | 計量單位 | 所屬分類 |
|---|---|---|---|---|
| 磁控濺射靶槍 | 否 | 5 | 臺 | 電子工業生產設備 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 規格型號 | TMK2SFANC | ||
| 預算 | ￥?51,000 | ||
| 技術參數 | 五支濺射靶槍，靶材尺寸為2英寸圓形靶，厚度為2毫米至6.35毫米，磁吸式安裝；磁極露在真空內，可便捷普通磁極和強磁極；靶頭具有折彎功能，可調節角度±45°；配有氣動緊湊式圓頂濺射源擋板，并且氣動擋板執行機構在真空腔體內；靶槍最低工作壓強可達0.5mTorr；靶頭內部采用全金屬密封，滿足超高真空應用；電氣連接接口為N型連接件-母型。 | ||
| 售后服務 | 服務網點:當地;電話支持:7x24小時;質保期:1年;服務時限:報修后2小時;商品承諾:原廠全新未拆封正品; | ||
采購清單2
| 采購物品 | 是否允許進口 | 采購數量 | 計量單位 | 所屬分類 |
|---|---|---|---|---|
| 自動電源靶槍切換器 | 否 | 1 | 臺 | 電子工業生產設備 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 規格型號 | ******-4 | ||
| 預算 | ￥?60,000 | ||
| 技術參數 | 一套靶槍-電源自動切換器，配置兩個輸入端口(同時輸入直流和射頻電源，并且同時輸入時互不影響，射頻通道帶濾波功能)和四個輸出端口，每個輸出端口可兼容直流電源和射頻電源的輸出。輸入和輸出端口均為標準HN型或者UHF接口，帶有DB15針通訊控制接口。 | ||
| 售后服務 | 服務網點:當地;電話支持:7x24小時;質保期:1年;服務時限:報修后2小時;商品承諾:原廠全新未拆封正品; | ||
采購清單3
| 采購物品 | 是否允許進口 | 采購數量 | 計量單位 | 所屬分類 |
|---|---|---|---|---|
| 磁控濺射直流電源 | 否 | 1 | 臺 | 電子工業生產設備 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 規格型號 | PD500X1 | ||
| 預算 | ￥?57,000 | ||
| 技術參數 | 一臺功率500W的直流電源。電源外形高度不超過1.75英寸，最高電壓不低于1000V，最大輸出電流不低于2A。功率系數> 0.98，打弧檢測時間＜100 nsecs，顯示精度：滿量程的+/- 1%；外形具有標準機柜安裝尺寸，19英寸X18.25英寸X1.75英寸。 | ||
| 售后服務 | 服務網點:當地;電話支持:7x24小時;質保期:1年;服務時限:報修后2小時;商品承諾:原廠全新未拆封正品; | ||
采購清單4
| 采購物品 | 是否允許進口 | 采購數量 | 計量單位 | 所屬分類 |
|---|---|---|---|---|
| 磁控濺射射頻電源 | 否 | 1 | 臺 | 電子工業生產設備 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 規格型號 | RF03A22XX300 | ||
| 預算 | ￥?88,000 | ||
| 技術參數 | 一臺功率為300W的RF電源，帶有自動匹配器和控制器。射頻頻率為13.56MHz。射頻電源輸出功率的精度優于滿量程的+/-1%或者讀數的+/-3%，電源長時間輸出穩定性優于+/-0.5%。輸出接頭N型，風冷冷卻；射頻電源為半個19英寸電控柜安裝尺寸，帶有標準19英寸電控柜安裝配件，可以和控制器并排安裝到標準電控柜內。外形尺寸Network 5英寸HX9英寸WX15英寸D；Controller外形尺寸3.5英寸HX9.5英寸WX12.8英寸D;Generator外形5.25英寸HX9.5英寸WX18.35英寸D。 | ||
| 售后服務 | 服務網點:當地;電話支持:7x24小時;質保期:1年;服務時限:報修后2小時;商品承諾:原廠全新未拆封正品; | ||
******大學
2025-06-25 11:43:07
