PT項： 技術部分評分（滿分55分）：

評分因素及細則

滿分

1-1

所投設備滿足“▲4.1支持晶圓尺寸規格：4、6、8英寸”的得5分；投標人需提供三種尺寸夾具(與 EWG 510鍵合機夾具一致)的實際運行圖各一組（包含對準前上片，對準過程，以及對準后至少3張），否則不得分。

5

1-2

所投設備滿足“▲4.2支持晶圓最大厚度≥3.8mm”的得3分；投標人需提供Clamp夾持高度測量圖，否則不得分。

3

1-3

所投設備滿足“▲4.3對準精度：≤±2μm的得2分；對準精度：≤±1μm的得5分”；投標人需提供對準精度報告，否則不得分。

5

1-4

所投設備滿足“▲5.2氣浮式被動調平模式，找平后精度＜10μm”的得3分，否則不得分。投標人需提供測試方法和精度報告

3

1-5

所投設備滿足“▲5.5 WEC接觸壓力：5-40N可調并實時監控，自動楔形補償功能”的得2分，否則不得分。

2

1-6

所投設備滿足“▲6.1光學成像系統：“支持并配備RGB可見光（LED）對位方式或支持并配備IR對位方式”的得1分；“同時支持并配備IR和RGB可見光（LED）2種光源對位方式”的得5分；投標人需提供face to face 對準結果（IR對位方式提供）、face to back對準結果（RGB對位方式），否則不得分。

5

1-7

所投設備滿足“▲6.3物鏡X方向移動最大范圍：≤100mm，得1分；≤170mm，得3分”；投標人需提供X軸移動范圍測量數據，否則不得分。

3

1-8

所投設備滿足“▲6.4物鏡Y方向移動范圍：≥10mm”的得2分；否則不得分。

2

1-9

所投設備滿足“▲6.6物鏡放大倍率：包含5倍物鏡”的得1分；包含5倍、10倍物鏡的得2分”；否則不得分。

2

1-10

所投設備滿足“▲6.9具備自動聚焦功能，鏡頭可自動尋找最優焦平面”的得2分；否則不得分。

2

1-11

所投設備滿足“▲6.10半自動運行，手動放片自動對準”的得3分；否則不得分。

3

1-12

所投設備滿足“▲6.12具備自動偏移誤差補償功能，設定補償值后相同recipe可自動進行誤差值補償”的得2分；否則不得分。

2

1-13

所投設備滿足“▲6.13對準采用高分辨率CCD相機，具有圖形記憶功能”的得3分；否則不得分。

3

1-14

所投設備滿足“7.1配置電動控制的X、Y、Z、θ四軸向對準工作臺”的3分；否則不得分。

3

1-15

所投設備滿足“7.2對準臺X/Y軸移動精度≤0.1 μm”的得3分；否則不得分。

3

1-16

所投設備滿足“7.4對準臺X/Y軸移動范圍≥±5 mm”的得3分；否則不得分。

3

1-17

所投設備滿足“7.5對準臺θ軸移動范圍：≥±3°，得1分；≥±5°，得2分”；否則不得分。

2

1-18

所投設備滿足“9.配備防震臺并具有主動防震功能”的得2分；否則不得分。

2

1-19

所投設備滿足“10.1采用計算機控制，Windows操作系統，菜單式，內存≥8GB，硬盤容量≥1TB，有通訊接口”的得2分；否則不得分。

2