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項目概況
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采購明細
“無掩膜紫外光刻機”技術要求
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資質要求
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商務要求
歡迎供應商注冊?投標，如有疑問請聯系技術支持QQ:?******88
1.報名須知：
???a、請登錄wisdombidding.com選擇相應項目，點擊界面下方“我要報價”按鈕。
???b、首次訪問的用戶需注冊，經系統審核后，再登錄查看可報名項目，按系統提示報名。
???c、報名材料除產品彩頁外均需加蓋公章，掃描上傳。
2、注冊審核時間為（工作日8：30 - 17:30），一般為當個工作日。
3、繳費確認時間（工作日8：30 - 17:30）：
???a、對公轉賬一般到賬時間需要四個小時，繳費確認需要四個小時以上，節假日期間請使用微信支付。
???b、推薦使用微信支付，微信支付實時到賬系統自動確認收款，可馬上報價。
4、資料準備時間為1-2日，報價材料除產品彩頁外均需加蓋公章，請供應商提前準備。
5、供應商第一次報價可能需要較長時間，請提前報價。
| 采購類型 | 采購 | ||
| 項目編號 | 中大招（貨）[2025]145號 | ||
| 項目名稱 | ******學院無掩膜紫外光刻機設備采購項目 | ||
| 申購主題 | 無掩膜紫外光刻機 | ||
| 項目類型 | 貨物采購 | 項目預算 | *** |
| 最高限價 | 800,000.00(人民幣) | ||
| 報名及響應開始時間 | 2025-06-18 16:50? | 報名及響應結束時間 | 2025-06-24 09:00? |
| 采購單位 | ******大學 | ||
| 經辦人 | 王老師 | 經辦人電話 | ****** |
| 期望收貨時間 | 合同簽訂后30天交貨 | ||
| 是否送貨 | 是 | 送貨地址 | ******大學深圳校區工學園1-513 |
| 電子簽章 | 本項目需要使用CA簽字? CA操作手冊下載 | ||
| 備注 | 1、本項目不允******學校不收 取任何費用。4、本項目需要使用CA證書，請供應商根據指引（******/article/4902）提前辦理CA證書。?5、?5、技術參數中如標注有“★”號的條款必須實質性響應，負偏離（不滿足要求）將導致報價無效。 | ||
| 1 采購設備 | 無掩膜紫外光刻機 |
| 數量 | 1臺 |
| 參考品牌 |
| 序號 | 技術要求內容 | 評分等級 | 是否星號條款 | 是否需要附件說明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ★1、光刻精度：至少支持兩個光刻鏡頭：光刻鏡頭1：最小線寬不大于1.2 μm，工作距離≥19 mm；光刻鏡頭2：最小線寬不大于0.8 μm，工作距離≥12 mm | 重要 | 是 | 是 |
| 2 | 2、具備交互式套刻指引功能：支持實時光刻圖形的預覽 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | ▲3、具備圖像識別對焦功能 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | ▲4、支持光刻鏡頭電動切換 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 5、曝光波長：380 nm | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 6、數字掩模板分辨率：≥1920 * 1080，微鏡尺寸≤7.6 μm | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 7、顯微觀測：支持顯微觀測且不會引起光刻膠變性 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 8、可支持的最大樣品厚度：≥10 mm | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | ▲9、最大曝光面積：≥150 mm * 150 mm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 10 | ▲10、支持樣品電動旋轉 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 11 | 11、樣品臺精度：絕對定位精度±0.5 μm，雙向重復定位精度±0.25 μm | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 12、樣品吸附：支持樣品吸附 | 重要 | 否 | 否 |
| 13 | ▲13、輔助功能： 原位光繪功能：支持原位繪制光刻圖形； 物像綁定功能：支持樣品圖形和光刻圖形綁定，實時對應； 成像拼接功能：支持樣品圖形的大范圍拼接，實現大范圍樣品查找； 畸變矯正功能：支持光刻圖形算法畸變矯正，實現精準套刻 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 14 | 14、畫圖功能：支持陣列畫圖、套刻畫圖 | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | ▲15、軟件及其功能：配套中文版操作軟件 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 16 | ▲16、配置清單：(1)無掩膜紫外光刻機主機（380 nm光源）1套、光刻機配套中文版操作軟件1套；(2)工作站1套（配置不低于i5-14500 14核/16G DDR5/512G SSD/27寸顯示器）、有線鍵鼠一套；(3)物鏡3顆（1顆觀測鏡頭、2顆光刻鏡頭）；(4)光電分離機箱2個；(5)氣泵1個；(6)工具及附件1套（公制內六角扳手、英制內六角扳手、磁吸小燈帶背膠、理線管5米：1根、螺絲刀套裝、U盤）；(7)光學平臺1個：尺寸不低于68cm（長）x68cm（寬）x78cm（高）；(8)機柜1個：尺寸不低于75cm（長）x60cm（寬）x95cm（高） | 非常重要 | 否 | 是 |
| 序號 | 要求名稱 | 條件類型 | 要求內容 | 是否需要附件說明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1條資質參數 | 符合性參數 |
上傳營業執照(副本原件掃描件) |
是 |
| 2 | 第2條資質參數 | 符合性參數 |
填寫并按要求上傳“廉潔承諾書”（需簽字并蓋公章） |
是 |
| 3 | 第3條資質參數 | 符合性參數 |
填寫并要求上傳“法定代表人授權書”（需按授權書要求簽字并加蓋公章） |
是 |
| 4 | 第4條資質參數 | 符合性參數 |
填寫并按要求上傳“供應商資格聲明”（需簽字并蓋公章） |
是 |
| 序號 | 要求名稱 | 要求內容 | 是否需要附件說明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 免費保修年限 |
2年 3年 4年 5年及以上 |
是 |
| 2 | 合同履約 |
******學校合同范本執行 下載地址：******:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （******大學國內采購合同》的需開具增值稅專用發票，如無法開具，需在簽署合同時提供合理說明，否則將可能會影響合同簽署。 |
否 |
| 3 | 產品銷售渠道（要求上傳“制造廠商出具的授權函”） |
廠家（生產商）直接銷售（出具廠家聲明格式自擬） 廠家（生產商）長期授權銷售（授權書中連續有效期不少于一年） 其他授權銷售方式 |
是 |
| 4 | 售后服務要求 |
1、在保修期內，當設備發生故障、買方不能自行解決時，賣方在接到買方的通知后：（1）在24小時內響應；（2）72小時內到達現場，并盡快予以解決；（3）一般故障7天內解決（重大故障除外）。
2、超過保修期后，如合同設備發生故障，買方要求賣方對設備進行檢查、維修時，賣方在接到買方的通知后：（1）在24小時內響應；（2）在72小時內到達現場，并盡快予以解決； |
是 |
| 5 | 培訓要求 |
1、賣方負責對儀器進行安裝調試，并對儀器操作人員進行技術培訓。
2、培訓人員：不少于2人；
3、培訓時間：2天；
4、培訓內容：儀器的測量原理、基本性能和用途、儀器操作、儀器維護等。 |
是 |
| 6 | 保修范圍 |
1、保修期內的保修內容與范圍：（1）整機保修，在保修期內出現屬于合同設備原因的故障，賣方負責無償修理及免費提供備件（除耗材外）。
2、超過保修期后的保修內容與范圍：保修期外的涉及到零部件出現故障，賣方需按成本價加必要的人工等其他費用提供優惠報價。 |
是 |
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1.報名須知：
???a、請登錄wisdombidding.com選擇相應項目，點擊界面下方“我要報價”按鈕。
???b、首次訪問的用戶需注冊，經系統審核后，再登錄查看可報名項目，按系統提示報名。
???c、報名材料除產品彩頁外均需加蓋公章，掃描上傳。
2、注冊審核時間為（工作日8：30 - 17:30），一般為當個工作日。
3、繳費確認時間（工作日8：30 - 17:30）：
???a、對公轉賬一般到賬時間需要四個小時，繳費確認需要四個小時以上，節假日期間請使用微信支付。
???b、推薦使用微信支付，微信支付實時到賬系統自動確認收款，可馬上報價。
4、資料準備時間為1-2日，報價材料除產品彩頁外均需加蓋公章，請供應商提前準備。
5、供應商第一次報價可能需要較長時間，請提前報價。
